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‘반도체 제조 핵심’ EUV 장비 도입, 최대 25일 단축

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작성자 행복한 댓글 0건 조회 0회 작성일 26-06-06 13:12

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극자외선(EUV)을 이용해 웨이퍼에 초미세 회로를 그리는 EUV 노광장비는 첨단 반도체 제조에 핵심 장비다. 네덜란드 기업 ASML에서 독점 생산하는 장비로, EUV 노광장비를 공급받기 위해 수많은 반도체 기업들이 대기하기도 해 ASML을 ‘슈퍼 을’ 기업으로 부르기도 한다.
이에 정부가 EUV 노광장비 국내 도입 절차를 대폭 간소화하기로 했다. 도입 때 검사 등에 걸리는 기간이 기존 34일에서 9일로 최대 25일 단축될 것으로 전망된다.
산업통상부는 2일 열린 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반 제조시설이 아닌 ‘특정설비’ 기준을 적용하도록 하는 것을 주요 내용으로 하는 ‘고압가스 안전관리법 시행령’ 일부 개정안이 의결됐다고 밝혔다.
그동안 반도체 공정에 필수적인 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관·장치가 포함돼 현행 법령상 ‘고압가스 제조설비’로 분류됐다. 이에 따라 EUV 장비를 설치할 때마다 기술 검토·검사를 받아야 했고, 이 과정에서 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 발생한다는 현장의 불만이 적지 않았다.
산업부는 반도체 업계와 여러 차례 협의를 거쳐 의견을 수렴하고, 글로벌 안전기준과 국내 안전관리 체계 간 정합성을 검토해 EUV 장비를 기존 ‘고압가스 제조시설’에서 ‘특정설비’로 관리하는 개정안을 마련했다.
이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 기간은 장비당 최대 25일 단축되고, 해외 공인검사기관 내압·기밀 검사비용도 장비당 약 5억원 절감될 것으로 산업부는 예상했다.
또 이날 산업부는 고압가스 안전관리법 시행규칙도 개정했다. 물과 세탁세제 대신 이산화탄소를 사용해 세탁하는 친환경 ‘액화 이산화탄소 세정설비’가 국내 최초 상용화될 수 있도록 맞춤형 검사기준을 신설하는 등 규제를 합리화했다. ‘위험성이 낮은 고압가스시설’의 안전관리자 선임기준을 현실에 맞게 정비하는 내용도 포함했다.
이날 국무회의를 통과한 개정안은 다음주 공포 후 즉시 시행된다. 김정관 산업부 장관은 “이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례”라며 “앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다”고 밝혔다.
화요일인 2일은 중부지방이 대체로 맑은 가운데 남부지방과 제주도를 중심으로 비가 내리겠다.
충청 남부와 전북 남·북부, 경북 중·북부에는 오전까지 빗방울이 떨어지는 곳이 있겠고, 전남권과 경북권 남부, 경남권, 제주도에는 오후까지 비가 오겠다.
예상 강수량은 광주·전남 20∼60mm(많은 곳 전남 남부 80mm 이상), 북서 내륙을 제외한 경남과 부산 20∼60mm(많은 곳 부산, 경남 남해안, 경남 남서 내륙 80mm 이상), 제주도 20∼80mm다.
전북 남부는 5∼10mm, 울산·경남 북서 내륙은 10∼40mm, 대구·경북 남부는 5∼10mm의 비가 예상된다.
중부지방과 전북은 낮 기온이 30도 이상으로 오르겠다. 최고 체감온도는 31도 안팎으로 올라 덥겠으니 온열질환에 유의해야겠다.
아침 최저기온은 13~20도, 낮 최고기온은 23~33도다.
주요 지역 아침 기온은 서울 18도, 인천 17도, 수원 18도, 춘천 15도, 강릉 20도, 청주 20도, 대전 19도, 전주 20도, 광주 19도, 대구 20도, 부산 20도, 제주 19도다.
낮 기온은 서울 33도, 인천 32도, 수원 32도, 춘천 32도, 강릉 29도, 청주 32도, 대전 31도, 전주 30도, 광주 29도, 대구 27도, 부산 24도, 제주 24도다.
미세먼지 농도는 전 권역이 ‘좋음’~‘보통’ 수준일 것으로 예상된다.

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