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‘반도체 제조 핵심’ EUV 장비 도입, 최대 25일 단축

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작성자 행복한 댓글 0건 조회 1회 작성일 26-06-03 03:48

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극자외선(EUV)을 이용해 웨이퍼에 초미세 회로를 그리는 EUV 노광장비는 첨단 반도체 제조에 핵심 장비다. 네덜란드 기업 ASML에서 독점 생산하는 장비로, EUV 노광장비를 공급받기 위해 수많은 반도체 기업들이 대기하기도 해 ASML을 ‘슈퍼 을’ 기업으로 부르기도 한다.
이에 정부가 EUV 노광장비 국내 도입 절차를 대폭 간소화하기로 했다. 도입 때 검사 등에 걸리는 기간이 기존 34일에서 9일로 최대 25일 단축될 것으로 전망된다.
산업통상부는 2일 열린 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반 제조시설이 아닌 ‘특정설비’ 기준을 적용하도록 하는 것을 주요 내용으로 하는 ‘고압가스 안전관리법 시행령’ 일부 개정안이 의결됐다고 밝혔다.
그동안 반도체 공정에 필수적인 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관·장치가 포함돼 현행 법령상 ‘고압가스 제조설비’로 분류됐다. 이에 따라 EUV 장비를 설치할 때마다 기술 검토·검사를 받아야 했고, 이 과정에서 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 발생한다는 현장의 불만이 적지 않았다.
산업부는 반도체 업계와 여러 차례 협의를 거쳐 의견을 수렴하고, 글로벌 안전기준과 국내 안전관리 체계 간 정합성을 검토해 EUV 장비를 기존 ‘고압가스 제조시설’에서 ‘특정설비’로 관리하는 개정안을 마련했다.
이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 기간은 장비당 최대 25일 단축되고, 해외 공인검사기관 내압·기밀 검사비용도 장비당 약 5억원 절감될 것으로 산업부는 예상했다.
또 이날 산업부는 고압가스 안전관리법 시행규칙도 개정했다. 물과 세탁세제 대신 이산화탄소를 사용해 세탁하는 친환경 ‘액화 이산화탄소 세정설비’가 국내 최초 상용화될 수 있도록 맞춤형 검사기준을 신설하는 등 규제를 합리화했다. ‘위험성이 낮은 고압가스시설’의 안전관리자 선임기준을 현실에 맞게 정비하는 내용도 포함했다.
이날 국무회의를 통과한 개정안은 다음주 공포 후 즉시 시행된다. 김정관 산업부 장관은 “이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례”라며 “앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다”고 밝혔다.
도널드 트럼프 미국 대통령이 친이란 레바논 무장정파 헤즈볼라의 거점을 폭격하려던 베냐민 네타냐후 이스라엘 총리를 거세게 질타한 것으로 알려졌다. 이란이 이스라엘의 레바논 공격이 계속되면 미국과의 협상을 중단하겠다고 하자 다급히 중재에 나선 것이다. 이는 트럼프 대통령의 종전 양해각서(MOU) 체결 의지가 그만큼 강함을 보여준다. 다음주 중 협상이 타결될 수 있을 것이란 트럼프 대통령의 낙관과 달리 상황은 갈수록 살얼음판이다. 이스라엘은 여전히 레바논 남부 공습을 멈추지 않고, 미·이란 간 해상 교전도 산발적으로 이어지고 있다.
트럼프 대통령은 1일(현지시간) ABC방송 인터뷰와 소셜미디어를 통해 “이란과의 (종전을 위한) 대화가 빠른 속도로 이어지고 있다”며 “다음주 내 이란과 휴전 연장 및 호르무즈 해협 재개방에 대해 합의할 수 있을 것으로 생각한다”고 말했다. 이어 “오늘 약간의 문제가 있었지만 내가 빠르게 해결했다”고 밝혔다. 이는 이란이 이스라엘의 레바논 공격을 휴전 위반으로 규정한 후 협상 중단을 선언했던 것을 가리킨 것으로 보인다.
앞서 베냐민 네타냐후 이스라엘 총리는 이날 영상 메시지를 통해 레바논 지상전을 확대하고 수도 베이루트 남쪽 외곽을 공습하라고 명령했다. 이란 외교부는 성명을 내고 “이는 미·이스라엘이 레바논을 포함해 모든 전선에서 공격을 중단하기로 한 휴전 협정을 위반한 것”이라고 경고했다. 이란 반관영 타스님통신은 이란이 항의의 뜻으로 미국과 협상 메시지 교환을 중단한 데 이어 “이스라엘과 옹호 세력을 처벌하기 위해 이란과 저항의 축은 호르무즈 해협을 전면 봉쇄하고, 홍해 입구인 바브엘만데브 해협 등에 새로운 전선을 열기로 했다”고 보도했다.
레바논 사태가 종전 협상을 무산시킬 수도 있는 최대 변수로 급부상하자, 트럼프 대통령은 빠르게 중재에 나섰다. 트럼프 대통령은 소셜미디어에 글을 올려 “네타냐후 총리와 생산적인 통화를 했다. 베이루트로 갈 군대는 되돌려졌다”며 “또 최고위급 대표들을 통해 헤즈볼라와도 통화했고, 그들 역시 공격을 멈추는 데 동의했다”고 밝혔다.
알자지라는 “미국 대통령이 중개인을 통해서라도 헤즈볼라와 직접 소통한 것은 전례가 없는 일”이라고 평가했다.
미 온라인매체 액시오스가 복수의 미 정부 관계자 말을 인용해 보도한 바에 따르면 트럼프 대통령은 네타냐후 총리와 통화할 때 “당신은 완전히 미쳤다. 도대체 무슨 짓을 하는 거냐”며 소리를 질렀다고 한다. 또 “내가 아니었으면 감옥에 있을 당신을 내가 구해주고 있는 것”이라며 압박한 것으로 전해졌다.
다만 레바논 휴전이 얼마나 이어질 수 있을지는 미지수다. 네타냐후 총리는 트럼프 대통령과 통화한 후 베이루트 공격은 중단한 것으로 보이지만, 레바논 남부에 대한 공습은 멈추지 않고 있다. 이란 의회 국가안보위원장인 에브라힘 아지지는 엑스에 글을 올려 “레바논에 대한 공격이 완전히 중단되지 않으면 이스라엘과 이 지역 주둔 미군에 심각한 결과가 초래될 것”이라며 “이것은 빈말이 아니다”라고 경고했다.
미·이란 간 산발적인 교전도 이어지고 있다. 이란 이슬람혁명수비대는 2일 “미국에 대한 보복으로 걸프 해역을 지나던 미국 국적 상선을 순항미사일로 공격했다”고 발표했다. 이는 지난달 30일 오만만에서 이란 항구를 향해 항해하던 감비아 국적 상선에 미군이 미사일을 발사한 데 따른 보복인 것으로 보인다. 다만 이란의 주장과 달리 공격을 받은 상선은 미국이 아닌 파나마 선적인 것으로 알려졌다.

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